一般來說，真空除濕干燥機的真空干燥需要在密封的環境內進行，真空干燥的設備一般是在常壓干燥的設備外，加上密封和真空設備即可。
　　
　　真空除濕干燥機的真空系統
　　
　　真空系統由真空泵或加羅茨泵組成，其主要功能是建立系統真空并排出氣體，在每臺真空泵的吸氣口都裝有因停電而防止氣體返流的自動截止閥。
　　
　　制冷系統
　　
　　真空除濕干燥機的制冷系統由制冷壓縮機、水冷冷凝器、膨脹閥、板式蒸發器、油分等組成，主機采用進口單機雙級半封閉壓縮機，每臺主機都構成獨立制冷循環系統，通過板式換熱器或冷凝管分別對板層和冷阱進行制冷。制冷系統
　　
　　冷阱是捕集升華水蒸汽的裝置，并與干燥箱聯成一體，之間用蘑菇閥/蝶閥隔開，可使進出料與化霜同時進行。在進入凍干結束判別程序后，自動進行壓力試驗，尋找出凍干結束點。如遇短時停電（10min），為保護制品的安全，小蝶閥會自動關閉，利用冷阱與干燥箱之間的壓差，保持升華狀態。
　　
　　制冷系統在設計時已備有充足的冷量，能應對升華產生的水蒸汽負荷。系統還配有電機過載熱保護、高壓壓力保護、低壓壓力保護、中壓壓力保護、油壓差保護、自動收液、冷卻水缺水保護等諸多功能。壓縮機還裝有 CPCE
　　
　　壓力調節器，防止壓縮機在極限工況條件運行，使二級壓縮比趨于平衡。
　　
　　另外真空除濕干燥機具有長時運行穩定、高效。系統管路設計先進、安裝精確等等的特點。